券商中國
劉筱攸
2025-07-19 10:13
證券時報,、遼寧日報聯合報道組
渾河之畔，鐵西區(qū)的老廠房曾托起新中國工業(yè)的脊梁,，齒輪與軸承的轟鳴聲里,，“東方魯爾”的鋼鐵血脈流淌了半個世紀。而今,，沈陽這座鐫刻著“共和國長子”榮光的城市,，正以精密半導體設備的嗡鳴續(xù)寫新的傳奇,。
在京津冀與長三角的半導體版圖之外，以沈陽為代表的遼寧工業(yè)重鎮(zhèn)用二十年時間破繭成蝶,，將老工業(yè)基地的厚重積淀熔鑄成中國半導體設備國產替代的東北力量,。截至2025年5月底，遼寧省上市公司數量共84家,，高新技術企業(yè)占比過半,，以拓荊科技、芯源微,、富創(chuàng)精密等為代表的半導體設備企業(yè)交出了一份嶄新的資本市場“遼寧答卷”,。
從薄膜沉積設備、涂膠顯影設備到半導體設備精密零部件,，遼寧企業(yè)在一個又一個領域打破海外壟斷，托起國產半導體設備的脊梁,。近日,，證券時報,、遼寧日報“從資本市場看地方高質量發(fā)展”大型融媒報道采訪團走進遼寧沈陽,，進行深度調研,。
根植沃土：從鋼鐵轟鳴到“芯片森林”
在沈陽,，一條渾河串聯起了遼寧產業(yè)發(fā)展的脈絡,，當北岸鐵西區(qū)的鋼鐵轟鳴聲逐漸遠去，南岸的渾南區(qū)一座座半導體設備工廠拔地而起,。從2019年至今,，遼寧在資本市場從無到有跑出了芯源微,、神工股份,、拓荊科技,、富創(chuàng)精密,、連城數控這5家以半導體為主業(yè)的上市公司,，半導體設備產業(yè)集群初現規(guī)模。
不僅勢頭猛,，而且后勁足,，在半導體設備領域擁有核心技術的沈陽新松半導體設備有限公司（以下簡稱“新松半導體”）、沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）,、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）等優(yōu)秀企業(yè)也在遼寧深深扎根、靜待花開,。
沈陽市發(fā)改委相關負責人在接受證券時報記者采訪時表示，沈陽市集成電路產業(yè)集群重點企業(yè)數量已達57家,，形成了以拓荊科技,、芯源微,、富創(chuàng)精密,、中科儀、和研科技,、新松半導體等6家龍頭企業(yè)為主體,，N家配套企業(yè)為支撐的“6+N”產業(yè)發(fā)展體系,。
“拓荊科技的等離子體增強化學氣相沉積、原子層沉積及應用于三維集成領域的先進鍵合設備已達到國際先進水平,。芯源微的前道涂膠顯影設備已與光刻機聯機運行,，成為中高端涂膠顯影機國內唯一的供應商,。富創(chuàng)精密是國內精密零部件領軍企業(yè),，也是全球為數不多的能夠量產應用于7納米工藝制程半導體設備的精密零部件制造商?！鄙鲜鲐撠熑吮硎?。
為何遼寧能長出這一片半導體設備“森林”？答案是：工業(yè)基礎是“土壤”,，產業(yè)集聚是“陽光”，而科教基因是“種子”,。從工業(yè)基礎來看,，遼寧省工業(yè)門類齊全且體系完備,，國民經濟行業(yè)41個工業(yè)大類,，遼寧擁有40個（僅缺其他采礦業(yè)）。
新松半導體總經理程龍表示：“沈陽作為‘共和國長子’,，制造業(yè)有著得天獨厚的優(yōu)勢,，半導體裝備核心零部件的產業(yè)配置完善,，在政策引導下形成了集成電路裝備產業(yè)集群,?！?/p>
沈陽市發(fā)改委相關負責人稱，早在2004年,，沈陽就成立了全國第一個集成電路裝備制造業(yè)產業(yè)基地，2010年該基地被科技部認定為國家集成電路裝備高新技術產業(yè)化基地,。如今沈陽正推進以渾南“北方芯谷”產業(yè)片區(qū)為主的“一主兩翼”產業(yè)空間布局建設,，加快集成電路產業(yè)集聚發(fā)展,。
在“遼寧集群”崛起之路上,，科研基因起到了關鍵作用。遼寧科教實力雄厚,，全省共有高等院校114所,，其中本科高校63所,，數量位居全國第六。2024年，遼寧新增了10家全國重點實驗室,，圍繞重點產業(yè)布局了20個重點實驗室群,，全省選派超千名科技特派員服務企業(yè),。
遼寧半導體產業(yè)版圖深植“中國科學院基因”，多家龍頭企業(yè)的發(fā)展源頭可追溯至中國科學院科研院所,。中國科學院沈陽分院在遼寧有大連化學物理研究所,、金屬研究所、沈陽應用生態(tài)研究所,、沈陽自動化研究所等4個研究所，以及沈陽計算技術研究所有限公司,、中科儀等2個整體轉制公司,。其中,，在新三板掛牌的中科儀是國內唯一實現集成電路領域批量應用的干式真空泵制造企業(yè),。
沈陽自動化研究所的產業(yè)孵化能力尤為突出：其控股的創(chuàng)業(yè)板上市公司機器人（新松機器人）孕育了新松半導體；早年發(fā)起成立的沈陽先進制造技術產業(yè)有限公司（于2013年退出）,，現為富創(chuàng)精密的第一大股東,；芯源微的創(chuàng)立同樣源自該所，其創(chuàng)始人,、榮譽董事長宗潤福,，曾擔任自動化研究所的研究員、室主任,。
科教埋下的“種子”,，在政策、金融,、企業(yè),、市場多方合力下茁壯成長，讓遼寧這片“鋼鐵大地”生長出了覆蓋薄膜沉積設備,、涂膠顯影設備,、真空機械手等全產業(yè)鏈的“半導體設備森林”。
鍛金礪鋒：用金融力量磨出科技鋒刃
全球產業(yè)爭鋒猶如棋盤對弈,，布局遠非一日之功,。遼寧半導體設備企業(yè)從“活下來”到“活得好”，離不開政策和金融力量支撐的“三步棋”,。棋盤山所在的渾南區(qū)就是沈陽半導體設備產業(yè)的發(fā)展“主陣地”,，匯聚了拓荊科技、芯源微,、富創(chuàng)精密等核心企業(yè),。
拓荊科技董事長呂光泉表示，在中國半導體設備“從0到1”的路上,，國家科技重大專項功不可沒,。拓荊科技,、芯源微,、富創(chuàng)精密與新松半導體均承擔著國家科技重大專項的部分研發(fā)任務，并從中獲得了重要的資金支持,。
呂光泉認為,，中國的產業(yè)政策在半導體設備領域起到了實效,。“你現在看到的所有第一梯隊的半導體設備企業(yè),，基本上都承擔過國家科技重大專項,，它讓半導體材料和設備完成了‘從0到1’的跨越，造就了這些企業(yè)的第一代技術,?！眳喂馊硎荆岸畯?到10’的路上,，國家大基金進來了,。”
2014年,，國家集成電路產業(yè)投資基金一期股份有限公司（即國家大基金一期）成立,，近七成資金投入集成電路制造領域。迄今為止,，已成立三期國家大基金,，總注冊資本超過6400億元。
和研科技總經理余胡平表示,，2022年12月,，和研科技在B+輪融資中獲得了國家大基金二期的投資，為公司發(fā)展“踩了一腳油門”,。目前和研科技已成為國產切磨拋裝備的領軍企業(yè),，在劃片機、切割分選機和研磨機等半導體封裝領域關鍵設備上逐步打破海外企業(yè)壟斷,。
遼寧半導體設備企業(yè)“從10到100”的路,，得益于科創(chuàng)板提供的多項助力。富創(chuàng)精密創(chuàng)始人,、董事長鄭廣文說：“科創(chuàng)板實際上救了中國的半導體,，它把資金和資源聚集到了半導體企業(yè)身上?！?/p>
2019年12月16日,，芯源微在科創(chuàng)板上市，成為“遼寧省科創(chuàng)板第一股”,，形成了示范效應,，帶動了一批真正有技術、有市場的沈陽半導體設備企業(yè)赴科創(chuàng)板上市,。2022年4月,，拓荊科技在科創(chuàng)板上市，同年10月,，富創(chuàng)精密登陸科創(chuàng)板,。
向科創(chuàng)板的“一躍”,，讓遼寧半導體設備企業(yè)有了充足的資金去擴張產能、研究技術,。同時,，科創(chuàng)板的股權激勵政策也讓半導體設備企業(yè)能更從容地面對行業(yè)激烈的人才爭奪戰(zhàn)。
宗潤福表示：“芯源微在科創(chuàng)板上市后,，科創(chuàng)板的股權激勵提供了非常好的工具,。”據透露,，芯源微核心工程師的股權激勵收入曾一度達到其年收入的2倍,，產生了對人才的“磁吸”效應。
“在科創(chuàng)板上市5年多來,，公司的利潤增長了8倍,，收入也增長了8倍。無論是IPO的資金還是上市之后的增發(fā),，這些融資擴產都讓公司受益,。”宗潤福表示,，“如果沒趕上科創(chuàng)板,，我們可能也是一家健康的企業(yè)，但很難成為一家騰飛的企業(yè),?！?/p>
呂光泉認為，對許多半導體設備企業(yè)來說,，從國家科技重大專項到國家大基金再到科創(chuàng)板上市,，這三環(huán)每一環(huán)都不可或缺，有了持續(xù)的資金加持,，前期踏踏實實搞研發(fā),、真正有技術突破的企業(yè)才能實現“從0到100”的騰飛。
改天換地：營商環(huán)境出現質變
國家層面的政策如雨露甘霖,，潤澤各地,，為何是遼寧長出了半導體設備的“廣闊森林”，逐步發(fā)展成中國半導體設備“第三極”,？遼寧為何能培育出這么一批有活力有沖勁的創(chuàng)新型科技企業(yè),？
這背后，是包括沈陽在內的遼寧省多個城市讓營商環(huán)境“改天換地”,，樹立了極強的服務企業(yè)的意識,。沈陽市發(fā)改委等政府部門以“店小二”式的服務態(tài)度幫企業(yè)排憂解難，樹立了“項目為王,、招商為要,、落地為大”的服務理念,。
沈陽市發(fā)改委相關負責人舉了這樣一個案例：在拓荊科技半導體先進薄膜設備產業(yè)化基地項目落地沈陽過程中,，曾遇到門前有未被貫通路段等問題,。沈陽市發(fā)改委主動傾聽企業(yè)訴求，多次組織召開協(xié)調會議,，最后成功解決了企業(yè)門前路段貫通,、開工前期場地平整、項目場地開口,、停車位配建等問題,，幫助項目順利落地開工。
沈陽市委金融辦則以“全周期護航”的態(tài)度陪伴企業(yè)發(fā)展,。沈陽市委金融辦副主任,、沈陽市地方金融管理局局長韓賓表示，在前端,，市委金融辦建立了“上市快速響應機制”,，對企業(yè)改制涉及的土地、稅務等問題適時啟動“上市聯席會議制度”,，實行總對總的協(xié)調辦理,，由市委金融辦對企業(yè)上市前期的訴求協(xié)調各部門分析、研判,、解決,。
“在中端，沈陽市委金融辦為企業(yè)協(xié)調并購貸款,、融資擔保等金融服務,，邀請交易所專家到企業(yè)實地考察調研并‘切脈聽診’，為企業(yè)上市創(chuàng)造有利條件,、掃清障礙,。在后端，市委金融辦設立了上市服務專班,，為企業(yè)配備‘上市服務秘書’,，2024年為宏遠股份、東方鈦業(yè)等企業(yè)協(xié)調解決合規(guī)性審查,、國有資產確權等難題超過十項,。”韓賓表示,。
“我們就是服務員,。”遼寧省地方金融管理局副局長戰(zhàn)巍表示,。接受記者采訪時,，他才剛從深圳回到沈陽,，在深圳舉辦了2025“創(chuàng)投遼寧”發(fā)展大會深圳專場路演活動，拜訪了頭部創(chuàng)投機構,，希望能吸引深圳投資者投資遼寧企業(yè),、分享遼寧發(fā)展紅利，助力遼寧企業(yè)早日登陸資本市場,。目前,，遼寧有上市輔導備案企業(yè)近30家。
對上市后備梯隊企業(yè)的“彎腰服務”,，讓遼寧在資本市場收獲累累碩果且有“豐收展望”,。自2019年以來，遼寧新增境內上市公司22家,，占到了目前84家上市公司的26.2%,。戰(zhàn)巍表示，目前遼寧上市后備庫企業(yè)共470家,，其中專精特新,、“瞪羚”、高新技術等科技型企業(yè)近350家,。
聚力攻堅：打響創(chuàng)投補強,、產業(yè)拓展長期戰(zhàn)役
盡管在資本市場上，遼寧已點燃“芯”星之火,，但想讓其成燎原之勢,、帶起整個“遼寧板塊”在資本市場上的聲量，仍需在多方面持續(xù)發(fā)力,。
其一,，需強化創(chuàng)投生態(tài)。與發(fā)達地區(qū)相比,，遼寧本土創(chuàng)投力量稍顯薄弱,，一定程度上制約了本地半導體企業(yè)的融資能力。外地創(chuàng)投機構對遼寧企業(yè)的了解,，也很難像本土機構一樣深刻,，需避免優(yōu)質項目因“地域認知差”而錯失發(fā)展機遇。
戰(zhàn)巍表示,，遼寧省正積極改善創(chuàng)投發(fā)展生態(tài),，去年成功舉辦首屆遼寧產投融合發(fā)展大會，發(fā)布200個重點新質生產力企業(yè)融資項目,，釋放融資需求超120億元,，吸引全國近百家創(chuàng)投機構走進遼寧。遼寧省還推出給予創(chuàng)投機構每家每年最高1000萬元財政資金激勵等系列支持措施，相繼吸引22只基金在遼寧省注冊落地,，認繳資金70.92億元,。遼寧還上線了“創(chuàng)投遼寧”股權投融資服務平臺，累計向千余家次投資機構發(fā)布企業(yè)融資需求近300億元,，一年來助力20余家企業(yè)獲得股權融資5.7億元,。
戰(zhàn)巍稱，當前遼寧省正大力爭取國家級基金,、央企資本及頭部創(chuàng)投機構在遼設立或參股子基金,，支持符合條件的創(chuàng)投機構發(fā)行科創(chuàng)債以擴充資金池,。今年7月初,，遼寧即將舉辦2025創(chuàng)投遼寧發(fā)展大會，將邀請創(chuàng)投機構深度走訪遼寧,，深入了解遼寧豐厚的科教底蘊和“硬科技”本色,。
其二，遼寧以重工業(yè)為主,，在多個領域“大工廠”的身份強于“大市場”,。為了“強鏈、固鏈,、延鏈”,，沈陽市積極謀劃集成電路設計、集成電路芯片產線等一批重點項目,，填補在產業(yè)鏈上的“空白地帶”,。沈陽市發(fā)改委表示，沈陽重點圍繞產業(yè)鏈上下游配套,，推進億方聯創(chuàng)EDA底座與組件研發(fā)推廣中心等一批項目簽約落地,，推動天科合達半導體設備產業(yè)化基地等項目年內開工，助力漢京半導體產業(yè)基地等項目竣工投產,。
“我們的目標是：將沈陽建設成為具有國際重要影響力和競爭力的集成電路裝備產業(yè)基地,，將集成電路裝備產業(yè)打造成為‘沈陽制造’新名片、新標志,?！鄙蜿柺邪l(fā)改委相關負責人表示。
在一個又一個戰(zhàn)場,，以沈陽為代表的遼寧城市正打響長期的攻堅戰(zhàn)役,。在營商環(huán)境上“改天換地”的遼寧，也需將半導體設備產業(yè)發(fā)展壯大的經驗復制到其他產業(yè),。只有在更多產業(yè)上走到全國“新一極”,，才能真正在資本市場掀起“遼寧板塊”的燎原之火。（更多報道見A4版）
（報道組成員：證券時報記者胡學文、安宇飛,，遼寧日報記者孔愛群,、張學軍）
