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芯源微已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)唯一可提供量產(chǎn)型中高端涂膠顯影設(shè)備的企業(yè)。

光刻工序是集成電路制造的重中之重,，占據(jù)產(chǎn)線上50%的時(shí)間和30%的成本,。它也是整條芯片產(chǎn)線上國(guó)產(chǎn)設(shè)備替代率最低的工藝環(huán)節(jié)——前道光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)替代率不足3%,，而產(chǎn)線上唯一與其聯(lián)機(jī)作業(yè)的前道涂膠顯影設(shè)備,，長(zhǎng)期被日本企業(yè)高度壟斷,，國(guó)產(chǎn)替代率不足10%,。

涂膠顯影機(jī)與光刻機(jī)、光刻膠被稱為光刻工序的三大要素,。芯源微立足自主研發(fā),，深度耕耘，已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)唯一可提供量產(chǎn)型中高端涂膠顯影設(shè)備的企業(yè),。

“芯源微是沈陽(yáng)IC裝備產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的先鋒。2002年芯源微創(chuàng)立時(shí),，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)還沒(méi)有形成,，沒(méi)有產(chǎn)品、沒(méi)有供應(yīng)鏈,，最重要的是沒(méi)有市場(chǎng),、沒(méi)有客戶?！毙驹次?chuàng)始人,、榮譽(yù)董事長(zhǎng)宗潤(rùn)福表示。芯源微立足自主研發(fā),，頑強(qiáng)地活了下來(lái),，從4寸、6寸做到8寸,、12寸,，從LED做到后道先進(jìn)封裝、做到前道領(lǐng)域,。2019年芯源微在上交所科創(chuàng)板成功上市,，是“遼寧省科創(chuàng)板第一股”，目前已經(jīng)發(fā)展成為國(guó)內(nèi)涂膠顯影細(xì)分領(lǐng)域龍頭企業(yè),。

芯源微在國(guó)產(chǎn)替代的道路上披荊斬棘,，克服了重重艱難險(xiǎn)阻：

一是涂膠顯影設(shè)備本身的高度復(fù)雜性。從設(shè)備結(jié)構(gòu)看，最先進(jìn)的涂膠顯影機(jī)有超過(guò)150個(gè)單元,，10余個(gè)機(jī)械手,，每小時(shí)進(jìn)行上萬(wàn)次機(jī)電動(dòng)作。從工藝難度看,，涂膠就像在足球場(chǎng)上鋪地板,，高低差要控制在一根頭發(fā)絲以內(nèi)。

二是涂膠顯影機(jī)要與芯片產(chǎn)線上最昂貴,、最重要的光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè),。宗潤(rùn)福表示：“聯(lián)機(jī)驗(yàn)證難，更重要的是決不能拖累光刻機(jī),，我們必須對(duì)產(chǎn)品的產(chǎn)能,、良率和可靠性有高要求?！?/p>

三是日系設(shè)備起步早,、積累深厚，對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)形成高度壟斷,，壟斷率超過(guò)90%,。隨著研發(fā)進(jìn)程持續(xù)推進(jìn)，產(chǎn)品迭代突破,，芯源微將進(jìn)一步推進(jìn)國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程,。

國(guó)產(chǎn)替代率低意味著發(fā)展空間極大。芯源微的前道設(shè)備已經(jīng)覆蓋了28納米以上所有工藝節(jié)點(diǎn),，覆蓋了中國(guó)半導(dǎo)體90%以上的成熟工藝,。其中，前道物理清洗設(shè)備已經(jīng)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,，成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代,，國(guó)內(nèi)市占率第一；前道化學(xué)清洗設(shè)備聚焦先進(jìn)制程,，瞄準(zhǔn)國(guó)外長(zhǎng)期壟斷環(huán)節(jié),，芯源微已成為國(guó)內(nèi)首個(gè)通過(guò)高溫硫酸清洗工藝驗(yàn)證并獲得重復(fù)訂單的企業(yè)。在后道先進(jìn)封裝領(lǐng)域,，芯源微作為成套工藝設(shè)備提供商,，產(chǎn)品市占率超過(guò)50%，成為客戶端主力量產(chǎn)設(shè)備商,，同時(shí)持續(xù)布局2.5D,、3D封裝等新興領(lǐng)域，發(fā)展新增長(zhǎng)點(diǎn),。

在談到為什么“六小虎”能在沈陽(yáng)發(fā)展壯大時(shí),，宗潤(rùn)福表示：“遼沈的裝備制造業(yè)有產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和配套優(yōu)勢(shì)，沈陽(yáng)的人才既穩(wěn)定，又具備工匠精神,、研發(fā)精神,。在省市區(qū)各級(jí)政府的有機(jī)組織與持續(xù)支持下，沈陽(yáng)零部件與半導(dǎo)體裝備在全國(guó)范圍內(nèi)都具備一定影響力,?！?/p>

芯源微立足遼沈，堅(jiān)定自主研發(fā),，研發(fā)費(fèi)用連續(xù)多年保持在營(yíng)業(yè)收入的10%以上,。2024年，其研發(fā)投入達(dá)2.97億元,，同比增加近50%,。技術(shù)上的研發(fā)突破，即將批量轉(zhuǎn)化為市場(chǎng)上的累累碩果,。

校對(duì)：冉燕青