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富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商,。

中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如同“攀登珠峰”，如果把半導(dǎo)體設(shè)備比作“登山靴”,，那精密零部件就是“鞋底”,，決定著設(shè)備的制造供應(yīng)和升級迭代,，這也曾是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)被“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一。

富創(chuàng)精密是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備精密零部件的領(lǐng)軍企業(yè),，為半導(dǎo)體設(shè)備提供機(jī)械及機(jī)電零組件,、氣體傳輸系統(tǒng)等產(chǎn)品，覆蓋了芯片制造的光刻,、刻蝕,、薄膜沉積、涂膠顯影等多個(gè)環(huán)節(jié),。目前,，富創(chuàng)精密已成為全球?yàn)閿?shù)不多能夠?yàn)?納米工藝制程半導(dǎo)體設(shè)備批量提供精密零部件的廠商。

富創(chuàng)精密創(chuàng)始人,、董事長鄭廣文表示,，富創(chuàng)精密主要在三大領(lǐng)域發(fā)力：一是精密金屬零件加工，從OEM（原始設(shè)備制造商）起步,，目前半導(dǎo)體領(lǐng)域90%的金屬零部件都能制作并實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化,；二是真空閥體等產(chǎn)品類的業(yè)務(wù)，這些產(chǎn)品很多國產(chǎn)化程度都比較低,，有產(chǎn)品90%都依賴進(jìn)口,，國產(chǎn)替代空間廣闊；三是氣體傳輸系統(tǒng),，這是公司業(yè)績增長“新曲線”,。

“以7納米芯片為例，已經(jīng)沒法用機(jī)械方式去挖溝槽,，主要靠化學(xué)反應(yīng),，而化學(xué)反應(yīng)主要靠氣體。整個(gè)半導(dǎo)體在刻蝕,、鍍膜,、注入等環(huán)節(jié)都靠氣體，對氣體傳輸?shù)臐崈舫潭群涂刂凭珳?zhǔn)度提出很高要求,?！编崗V文表示。

目前,，氣體傳輸整體系統(tǒng)及關(guān)鍵零組件制造核心技術(shù)的國產(chǎn)化率仍然較低,，氣體傳輸系統(tǒng)零部件市場主要由少數(shù)大型企業(yè)主導(dǎo)，而富創(chuàng)精密通過投資的方式彌補(bǔ)了這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)的短板,。

鄭廣文表示：“氣體傳輸業(yè)務(wù)的增長勢頭非常好,。首先是市場的‘絕對數(shù)量’夠，氣體傳輸系統(tǒng)大約占整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額的7%到8%,。其次是國產(chǎn)化空間大,，目前該領(lǐng)域進(jìn)口比例較高,。最后是富創(chuàng)精密的技術(shù)沒問題，現(xiàn)在各大半導(dǎo)體設(shè)備廠商研發(fā)新工藝,，富創(chuàng)精密大多都參與設(shè)計(jì),。”

校對：冉燕青