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中科儀干式真空泵已實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心部件國產(chǎn)化多項(xiàng)零的突破。

在半導(dǎo)體制造這個“納米級微觀手術(shù)”中,，干式真空泵扮演著至關(guān)重要的角色,。干式真空泵能快速、干凈地把芯片加工腔室里的空氣和各種氣體“抽走”,，為芯片制造提供工藝所必需的潔凈真空環(huán)境,，完成薄膜沉積、刻蝕,、離子注入,、光刻等超微加工。

在新三板掛牌的中科儀,，依托高真空,、超高真空和超潔凈真空技術(shù)優(yōu)勢，攻克了一系列產(chǎn)業(yè)共性,、關(guān)鍵技術(shù)難題,，致力于研制開發(fā)先進(jìn)的干式真空泵,、真空儀器設(shè)備，產(chǎn)品均達(dá)到國際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平,，填補(bǔ)了國內(nèi)同類產(chǎn)品空白,。

據(jù)了解，中科儀創(chuàng)建于1958年,，其前身是中國科學(xué)院直屬事業(yè)單位,，是中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn),、銷售及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。中科儀作為我國真空技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè),，組建了國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心,、真空技術(shù)裝備國家工程實(shí)驗(yàn)室及國家企業(yè)技術(shù)中心，是國家級高新技術(shù)企業(yè),。

目前,，中科儀干式真空泵已在國內(nèi)多家知名集成電路和光伏巨頭企業(yè)通過工藝驗(yàn)證并批量使用，打破了歐美及日韓企業(yè)對同類產(chǎn)品的長期壟斷地位,，實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)核心部件國產(chǎn)化多項(xiàng)零的突破,。

校對：冉燕青